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发明名称 DEFECT INSPECTION DEVICE
摘要
申请公布号 JPS55125439(A) 申请公布日期 1980.09.27
申请号 JP19790033460 申请日期 1979.03.22
申请人 HAJIME SANGYO 发明人 YOSHIDA HAJIME
分类号 G01N21/956;G01N21/88;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 G01N21/956
代理机构 代理人
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