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发明名称
PROBE DEVICE
摘要
申请公布号
JPH01170842(A)
申请公布日期
1989.07.05
申请号
JP19870333616
申请日期
1987.12.25
申请人
TOKYO ELECTRON LTD
发明人
AKIYAMA SHUJI
分类号
G01R31/28;G01N21/84;G01N21/88;G09F9/00
主分类号
G01R31/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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