| 发明名称 |
METHOD OF FORMING SEMICONDUCTOR SURFACE INSULATING FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS55120143(A) |
申请公布日期 |
1980.09.16 |
| 申请号 |
JP19790027301 |
申请日期 |
1979.03.09 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
NOZAKI TAKAO;ITOU TAKASHI;ARAKAWA HIDEKI;ISHIKAWA HAJIME;SHINODA MASAICHI |
| 分类号 |
H01L29/78;C01B21/068;H01L21/318 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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