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发明名称 DIFFUSION FURNACE
摘要
申请公布号 SU762062(A1) 申请公布日期 1980.09.07
申请号 SU19772542573 申请日期 1977.11.14
申请人 IVANOV VADIM ,SU;FOMIN GLEB A,SU;FOMIN VIKTOR N,SU;GONCHAROV VLADIMIR N,SU;DUBOVIKOV DMITRIJ B,SU;BARANOV VALENTIN N,SU 发明人 IVANOV VADIM ,SU;FOMIN GLEB A,SU;FOMIN VIKTOR N,SU;GONCHAROV VLADIMIR N,SU;DUBOVIKOV DMITRIJ B,SU;BARANOV VALENTIN N,SU
分类号 H01L21/225;H01L21/385;(IPC1-7):H01L21/22;H01L21/38 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
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