发明名称 NEGATIVE X-RAY RESIST CONTAINING POLY(2,3-DICHLORO-1-PROPYL ACRYLATE)AND POLY(GLYCIDYL METHACRYLATE-CO-ETHYL ACRYLATE)
摘要 <p>Reserve negative a rayons-X utilisable pour la production d'images de haute resolution. La reserve a rayons X comprend un melange de poly(acrylate de 2,3-dichloro-1-propyle) et de poly(methacrylate de glycidyle-co-acrylate d'ethyle), ce dernier formant entre 1% et 20% en poids du melange total du polymere. Cette reserve possede des proprietes d'adhesion et de resolution superieures a celles du poly(acrylate de 2,3,-dichloro-1-propyle). Les proprietes superieures du melange sont attribuees aux fait que les deux poylmeres forment un melange compatible de polymeres, ce qui est un evenement relativement rare et imprevisible dans la chimie des polymeres.</p>
申请公布号 WO8001847(A1) 申请公布日期 1980.09.04
申请号 WO1980US00127 申请日期 1980.02.11
申请人 WESTERN ELECTRIC CO INC 发明人 MORAN J;TAYLOR G
分类号 G03F7/004;C08L33/00;C08L33/04;C08L33/06;C08L33/16;G03F7/038;H01L21/302;(IPC1-7):05D3/06;03C1/71 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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