发明名称 MANUFACTURE OF SILICON NITRIDE PRODUCT
摘要
申请公布号 JPS55113672(A) 申请公布日期 1980.09.02
申请号 JP19790017910 申请日期 1979.02.20
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 OCHIAI TOSHIHIKO;NISHIDA KATSUTOSHI;WADA MASAYUKI;SAKAI MASATO
分类号 C04B41/91;C04B35/58 主分类号 C04B41/91
代理机构 代理人
主权项
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