发明名称 LIGHTTANNEALING
摘要
申请公布号 JPS55113336(A) 申请公布日期 1980.09.01
申请号 JP19790019767 申请日期 1979.02.23
申请人 CHO LSI GIJUTSU KENKYU KUMIAI 发明人 IWAMATSU SEIICHI
分类号 H01L21/26;H01L21/324 主分类号 H01L21/26
代理机构 代理人
主权项
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