| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS55113335(A) |
申请公布日期 |
1980.09.01 |
| 申请号 |
JP19790020331 |
申请日期 |
1979.02.23 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
NOZAKI TAKAO;ITOU TAKASHI;ARAKAWA HIDEKI;INOUE SHINICHI |
| 分类号 |
C01B21/068;H01L21/314;H01L21/318;H01L21/8247;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792 |
主分类号 |
C01B21/068 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
