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发明名称
摘要
申请公布号	JPS5533178(B2)	申请公布日期	1980.08.29
申请号	JP19730059492	申请日期	1973.05.28
申请人		发明人
分类号	H01L21/52;H01L33/16;H01L33/30;H01L33/36;H01L33/62	主分类号	H01L21/52
代理机构		代理人
主权项
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