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发明名称 MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS55111128(A) 申请公布日期 1980.08.27
申请号 JP19790018830 申请日期 1979.02.20
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 NAKAMURA KUNIO
分类号 H01L21/28;H01L21/265 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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