发明名称 METHOD FOR MAKING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS55110037(A) 申请公布日期 1980.08.25
申请号 JP19790018116 申请日期 1979.02.19
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SHIMODA HARUO;IKEGAMI KAORU;TAKAGI MIKIO
分类号 H01L29/78;H01L21/265;H01L21/318;H01L21/324 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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