发明名称 METHOD FOR GROWING EPITAXIAL LAYER
摘要
申请公布号 JPS55110034(A) 申请公布日期 1980.08.25
申请号 JP19790018123 申请日期 1979.02.19
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MAEDA MAMORU;AKAI YOSHIO;TAKAGI MIKIO
分类号 C30B25/10;C30B25/12;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 C30B25/10
代理机构 代理人
主权项
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