| 发明名称 |
METHOD FOR HIGHHFREQUENCY HEATED EPITAXIAL GROWTH |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS55110032(A) |
申请公布日期 |
1980.08.25 |
| 申请号 |
JP19790018121 |
申请日期 |
1979.02.19 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
TANABE KAORU;NOMURA YOSHIFUMI;MAEDA MAMORU;TAKAGI MIKIO |
| 分类号 |
C30B25/02;C30B25/10;C30B25/12;H01L21/205;H01L21/31 |
主分类号 |
C30B25/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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