发明名称 |
CONTINUOUS DEPOSITION OF A LAYER OF SEMICONDUCTOR MATERIAL ON A HEATED SUBSTRATE |
摘要 |
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申请公布号 |
AU5513980(A) |
申请公布日期 |
1980.08.21 |
申请号 |
AU19800055139 |
申请日期 |
1980.02.01 |
申请人 |
SOCIETA ITALIANA VETRO-SIV-S.P.A. |
发明人 |
REINHARD KALBSKOPF;OTTO BAUMBERGER |
分类号 |
C03C17/23;C03C17/00;C03C17/245;C23C16/44;C23C16/453;C23C16/455;C23C16/54;H05B3/84 |
主分类号 |
C03C17/23 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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