发明名称 CONTINUOUS DEPOSITION OF A LAYER OF SEMICONDUCTOR MATERIAL ON A HEATED SUBSTRATE
摘要
申请公布号 AU5513980(A) 申请公布日期 1980.08.21
申请号 AU19800055139 申请日期 1980.02.01
申请人 SOCIETA ITALIANA VETRO-SIV-S.P.A. 发明人 REINHARD KALBSKOPF;OTTO BAUMBERGER
分类号 C03C17/23;C03C17/00;C03C17/245;C23C16/44;C23C16/453;C23C16/455;C23C16/54;H05B3/84 主分类号 C03C17/23
代理机构 代理人
主权项
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