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发明名称 RESIST COATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS55108741(A) 申请公布日期 1980.08.21
申请号 JP19790016425 申请日期 1979.02.15
申请人 PIONEER ELECTRONIC CORP 发明人 SUZUKI SHINICHI;SUEMITSU HISASHI
分类号 B05C11/08;B05C11/10;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 B05C11/08
代理机构 代理人
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