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经营范围
发明名称
CLEANING METHOD
摘要
申请公布号
JPS55108731(A)
申请公布日期
1980.08.21
申请号
JP19790015603
申请日期
1979.02.13
申请人
FUJITSU LTD
发明人
SASAKI HIROO;MAEDA MAMORU;TAKAGI MIKIO
分类号
H01L21/308;H01L21/02;H01L21/306
主分类号
H01L21/308
代理机构
代理人
主权项
地址
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