发明名称 MINIMIZING WAVE INTERFERENCE EFFECTS ON THE MEASUREMENT OFTHIN FILMS HAVING SPECULAR SURFACES USING INFRARED RADIATION
摘要
申请公布号 GB1573263(A) 申请公布日期 1980.08.20
申请号 GB19770014433 申请日期 1977.04.05
申请人 INDUSTRIAL NUCLEONICS CORP 发明人
分类号 G01B11/06;G01N21/86;(IPC1-7):G01N21/86 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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