发明名称 |
MINIMIZING WAVE INTERFERENCE EFFECTS ON THE MEASUREMENT OFTHIN FILMS HAVING SPECULAR SURFACES USING INFRARED RADIATION |
摘要 |
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申请公布号 |
GB1573263(A) |
申请公布日期 |
1980.08.20 |
申请号 |
GB19770014433 |
申请日期 |
1977.04.05 |
申请人 |
INDUSTRIAL NUCLEONICS CORP |
发明人 |
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分类号 |
G01B11/06;G01N21/86;(IPC1-7):G01N21/86 |
主分类号 |
G01B11/06 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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