| 发明名称 |
METHOD OF TRATING SURFACES OF INTERMEDIATE PRODUCTS OBTAINED IN THE MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB1573206(A) |
申请公布日期 |
1980.08.20 |
| 申请号 |
GB19760035164 |
申请日期 |
1976.08.24 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
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| 分类号 |
C11D3/30;C23G1/14;H01L21/306;(IPC1-7):C11D7/32 |
主分类号 |
C11D3/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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