| 发明名称 |
METHOD OF FORMING PATTERN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS55107233(A) |
申请公布日期 |
1980.08.16 |
| 申请号 |
JP19800012135 |
申请日期 |
1980.02.05 |
| 申请人 |
IBM |
发明人 |
ARETSUKU NIGERU BUROASU;JIEROOMU JIYON KUOMO;ROBAATO BENJIYAMIN RAIBOOUITSU;UORUTAA UIRIAMU MOOZEN JIYUNIA |
| 分类号 |
G03F7/00;G03F7/004;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/312 |
主分类号 |
G03F7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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