发明名称 REMOVING METHOD OF SURFACE FROM SUBSTANCE
摘要
申请公布号 JPS55106538(A) 申请公布日期 1980.08.15
申请号 JP19790015623 申请日期 1979.02.13
申请人 SHIMADZU CORP 发明人 YAMAUCHI HIROSHI
分类号 B01J19/00;B24C1/00;H01L21/304 主分类号 B01J19/00
代理机构 代理人
主权项
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