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发明名称
VAKUUMBEDAMPFUNGSANLAGE
摘要
申请公布号
DE3000451(A1)
申请公布日期
1980.08.14
申请号
DE19803000451
申请日期
1980.01.08
申请人
BALZERS HOCHVAKUUM GMBH
发明人
BUHL,RAINER,DR.;SIGNER,HANS
分类号
C23C14/02;C23C14/32;C23C14/58;(IPC1-7):C23C15/00;C23C13/08
主分类号
C23C14/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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