发明名称 VAKUUMBEDAMPFUNGSANLAGE
摘要
申请公布号 DE3000451(A1) 申请公布日期 1980.08.14
申请号 DE19803000451 申请日期 1980.01.08
申请人 BALZERS HOCHVAKUUM GMBH 发明人 BUHL,RAINER,DR.;SIGNER,HANS
分类号 C23C14/02;C23C14/32;C23C14/58;(IPC1-7):C23C15/00;C23C13/08 主分类号 C23C14/02
代理机构 代理人
主权项
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