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发明名称 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN VON AUS AMORPHEM SILIZIUM BESTEHENDEN HALBLEITERKOERPERN DURCH GLIMMENTLADUNG
摘要
申请公布号 DE2904171(A1) 申请公布日期 1980.08.14
申请号 DE19792904171 申请日期 1979.02.05
申请人 SIEMENS AG 发明人 PLAETTNER,ROLF,DR.PHIL.NAT.;KRUEHLER,WOLFGANG,DR.RER.NAT.;GRABMAIER,JOSEF,DR.RER.NAT.
分类号 H01L31/04;C23C16/24;H01L21/205;H01L31/20;(IPC1-7):B01J17/28;C23C11/00 主分类号 H01L31/04
代理机构 代理人
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