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<p>Das Meßprinzip beruht auf der Interferenz von Lichtbündeln (34, 35) die einerseits von einem unbedeckten Teil der Oberfläche (30) des undurchsichtigen (oder opaken) Probenkörpers (28) reflektiert werden und anderseits von einem Teil der Oberfläche, die mit einer durchsichtigen, ebenfalls geätzten Schicht (29) bedeckt ist. Eine aus einem halbdurchlässigen Spiegel (18) und zwei dichroitischen Spiegeln (20, 21) bestehende optische Anordnung erzeugt die beiden Lichtbündel (24, 25) zur Beleuchtung der Probenoberfläche und führt die beiden reflektierten Lichtbündel (34, 35) zur Interferenz zusammen, wobei die Lichtwege gleiche Länge aufweisen. Der halbdurchlässige Spiegel (18) ist bezüglich der zur Probenoberfläche parallelen Lichteinfallrichtung (16) und zur Normalen der Probenoberfläche jeweils um 45° geneigt. Die über bzw. seitlich des halbdurchlässigen Spiegels (18) symmetrisch angeordneten, dichroitischen Spiegel (20 bzw. 21) sind gegenüber der Fläche des halbdurchlässigen Spiegels (18) um 22,4° geneigt. Zur Messung wird Licht mit einer Wellenlänge verwendet, das von den dichroitischen Spiegeln (20, 21) reflektiert wird. Eine Beleuchtungseinrichtung (110) zur visuellen Beobachtung der Meßfläche ist hinter einem der dichroitischen Spiegel angeordnet, das visuelle Beobachtungsgerät (120) befindet sich hinter dem anderen dichroitischen Spiegel. Die Ätzgeschwindigkeit des undurchsichtigen Probenkörpers wird mit der Formel d=λ/2n-Δ×(n-1) aus der Periode der Intensitätsschwankungen des Ausgangsstrahls bestimmt, in dem die an der bedeckten und der unbedeckten undurchsichtigen Oberfläche reflektierten Strahlen interferieren (n-Brechungsindex der durchsichtigen Deckschicht, Δ × abgeätzter Teil der Deckschicht, γ = Wellenlänge, d = abgeätzte undurchsichtige Schicht).</p> |
