发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURE
摘要
申请公布号 GB1572854(A) 申请公布日期 1980.08.06
申请号 GB19770005706 申请日期 1977.02.11
申请人 PHILIPS ELECTRONIC & ASSOCIATED INDUSTRIES LTD 发明人
分类号 C30B19/00;C30B25/18;C30B31/22;H01L21/205;H01L21/74;H01L21/76;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 C30B19/00
代理机构 代理人
主权项
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