BIAS SPUTTER DEPOSITION APPARATUS AND ITS METHOD OF USE,申请号EP19790105177-传众专利搜索

发明名称	BIAS SPUTTER DEPOSITION APPARATUS AND ITS METHOD OF USE
摘要
申请公布号	EP0012954(A3)	申请公布日期	1980.08.06
申请号	EP19790105177	申请日期	1979.12.14
申请人	INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION	发明人	KENNEDY, THOMAS NOLAN;MCDONOUGH, GEORGE WILLIAM;LESTER, WILLIAM CARL;MICHAELSON, JOHN DANIEL
分类号	C23C14/34;C23C14/35;C23C14/38;H01J37/34;H01L21/203;(IPC1-7):H01J37/34;C23C15/00	主分类号	C23C14/34
代理机构		代理人
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