发明名称 METHOD FOR INDICATING DEFECTIVE SEMICONDUCTOR CHIP
摘要
申请公布号 JPS55102246(A) 申请公布日期 1980.08.05
申请号 JP19790009560 申请日期 1979.01.29
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 UMETSU TSUNENORI
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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