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发明名称 ALIGNMENT DEVICE FOR SEMICONDUCTOR MASKS AND WAFERS
摘要
申请公布号 GB2039030(A) 申请公布日期 1980.07.30
申请号 GB19790030340 申请日期 1979.08.31
申请人 CANON KK 发明人
分类号 G02B7/00;B23Q15/24;G03F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):G05D3/12 主分类号 G02B7/00
代理机构 代理人
主权项
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