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经营范围
发明名称
CONTINUOUS SURFACE TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号
JPS5599727(A)
申请公布日期
1980.07.30
申请号
JP19790007107
申请日期
1979.01.26
申请人
HITACHI LTD
发明人
NAGATOMO HIROTO;TERASAKI SHIROU;SEKI HISAO;TAKAGAKI TETSUYA
分类号
H01L21/3063;H01L21/306
主分类号
H01L21/3063
代理机构
代理人
主权项
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