发明名称 CONTINUOUS SURFACE TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5599727(A) 申请公布日期 1980.07.30
申请号 JP19790007107 申请日期 1979.01.26
申请人 HITACHI LTD 发明人 NAGATOMO HIROTO;TERASAKI SHIROU;SEKI HISAO;TAKAGAKI TETSUYA
分类号 H01L21/3063;H01L21/306 主分类号 H01L21/3063
代理机构 代理人
主权项
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