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发明名称 APPARATUS FOR CHEMICAL ETCHING
摘要
申请公布号 SU752558(A1) 申请公布日期 1980.07.30
申请号 SU19772535252 申请日期 1977.10.12
申请人 KIRSANOV NIKOLAJ S,SU;BLYAKH MARAT YA,SU;ZAPESOTSKIJ DAVID M,SU 发明人 KIRSANOV NIKOLAJ S,SU;BLYAKH MARAT YA,SU;ZAPESOTSKIJ DAVID M,SU
分类号 H01L21/306;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
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