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发明名称 VORRICHTUNG ZUM ELEKTROSTATISCHEN HALTEN VON WERKSTUECKEN,INSBESONDERE HALBLEITERSCHEIBEN
摘要
申请公布号 DD143131(A1) 申请公布日期 1980.07.30
申请号 DD19790212511 申请日期 1979.04.26
申请人 BERGNER,UTE,DD 发明人 BERGNER,UTE,DD
分类号 B23Q3/15;B25B11/00;H01L21/673;H01L21/683;(IPC1-7):H02N13/00 主分类号 B23Q3/15
代理机构 代理人
主权项
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