| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR ELEMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5598825(A) |
申请公布日期 |
1980.07.28 |
| 申请号 |
JP19790006354 |
申请日期 |
1979.01.22 |
| 申请人 |
HANDOTAI KENKYU SHINKOKAI |
发明人 |
NISHIZAWA JIYUNICHI;YAMAMOTO KENJI |
| 分类号 |
H01L21/22;H01L21/265;H01L21/266;H01L21/30;H01L21/316 |
主分类号 |
H01L21/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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