发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5595371(A) 申请公布日期 1980.07.19
申请号 JP19790003130 申请日期 1979.01.12
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SHIMANO AKIO;TAKAGI HIROMITSU
分类号 H01L29/80;H01L21/338;H01L29/417;H01L29/812 主分类号 H01L29/80
代理机构 代理人
主权项
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