| 发明名称 |
APPARATUS FOR PRODUCING A SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB1571306(A) |
申请公布日期 |
1980.07.16 |
| 申请号 |
GB19760053835 |
申请日期 |
1976.12.23 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/673;C30B25/08;C30B25/12;C30B31/10;C30B31/14;H01L21/205;H01L21/304;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/673 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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