VORRICHTUNG ZUM AETZEN VON SILIZIUMSCHEIBEN,申请号DD19790212139-传众专利搜索

发明名称	VORRICHTUNG ZUM AETZEN VON SILIZIUMSCHEIBEN
摘要
申请公布号	DD142934(A1)	申请公布日期	1980.07.16
申请号	DD19790212139	申请日期	1979.04.11
申请人	HELM,HEINZ-MICHAEL,DD	发明人	HELM,HEINZ-MICHAEL,DD
分类号	C23F1/04;G01L9/06;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306	主分类号	C23F1/04
代理机构		代理人
主权项
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