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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5593236(A) 申请公布日期 1980.07.15
申请号 JP19790001489 申请日期 1979.01.10
申请人 CHO LSI GIJUTSU KENKYU KUMIAI 发明人 CHIBA MITSUNAO;MOCHIZUKI TOORU;TSUJIMARU TAKANORI
分类号 H01L21/3205;H01L21/28;H01L23/52;H01L29/43 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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