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经营范围
发明名称
VAPOR PHASE EPITAXIAL GROWTH METHOD
摘要
申请公布号
JPS5591817(A)
申请公布日期
1980.07.11
申请号
JP19780164793
申请日期
1978.12.28
申请人
FUJITSU LTD
发明人
KOMENO JIYUNJI
分类号
H01L29/80;C30B25/02;C30B25/16;C30B29/40;H01L21/205;H01L21/338;H01L29/812
主分类号
H01L29/80
代理机构
代理人
主权项
地址
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