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经营范围
发明名称
DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号
JPS5591977(A)
申请公布日期
1980.07.11
申请号
JP19780165811
申请日期
1978.12.30
申请人
FUJITSU LTD
发明人
NAKAMURA MORITAKA;TAKADA CHIYUUICHI
分类号
H01L21/302;C23F1/00;C23F4/00;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/465
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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