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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5591831(A) 申请公布日期 1980.07.11
申请号 JP19780162298 申请日期 1978.12.29
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KAWABE YUUNOSUKE;MONMA YOSHINOBU
分类号 H01L21/28;H01L21/302;H01L21/306 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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