METHOD OF FORMING COATING PATTERN,申请号JP19790146612-传众专利搜索

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发明名称	METHOD OF FORMING COATING PATTERN
摘要
申请公布号	JPS5591834(A)	申请公布日期	1980.07.11
申请号	JP19790146612	申请日期	1979.11.14
申请人	IBM	发明人	JIYANOSU HEIBASU;GEIBAA PAARU
分类号	H01L21/3205;H01L21/027;H01L21/28;H01L21/306	主分类号	H01L21/3205
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