| 发明名称 |
PREPARATION OF MICROWAVE INTEGRATED CIRCUIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5591848(A) |
申请公布日期 |
1980.07.11 |
| 申请号 |
JP19780162299 |
申请日期 |
1978.12.29 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
YAMAMURA EIJI;FUKUDA MASUMI;SHIGAKI MASAFUMI |
| 分类号 |
H01L21/822;H01L27/02;H01L27/04;H01L27/12 |
主分类号 |
H01L21/822 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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