发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5591871(A) 申请公布日期 1980.07.11
申请号 JP19780165149 申请日期 1978.12.29
申请人 NIPPON ELECTRIC CO;NIPPON TELEGRAPH & TELEPHONE 发明人 NOZAKI TADATOSHI;OKABAYASHI HIDEKAZU;YANAGAWA FUMIHIKO
分类号 H01L29/78;H01L21/768;H01L29/423;H01L29/43;H01L29/49 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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