发明名称
摘要
申请公布号 FR2363191(B1) 申请公布日期 1980.07.11
申请号 FR19770020044 申请日期 1977.06.21
申请人 IBM 发明人
分类号 H01L21/3213;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/321;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/24;H01L21/28 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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