| 发明名称 |
POSITIVE TYPE RESIST PATTERN FORMING MATERIAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5590941(A) |
申请公布日期 |
1980.07.10 |
| 申请号 |
JP19780162297 |
申请日期 |
1978.12.29 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
YONEDA YASUHIRO;KITAMURA TATEO;KITAKOUJI TOSHISUKE |
| 分类号 |
G03F7/004;C08F220/00;C08F220/42;C08F220/50;G03C1/72;G03F7/039;H01L21/30 |
主分类号 |
G03F7/004 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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