发明名称 ALIGNMENT MATCHING EXPOSURE APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS5591124(A) 申请公布日期 1980.07.10
申请号 JP19780164905 申请日期 1978.12.27
申请人 KYUSHU NIPPON ELECTRIC 发明人 MITSUYA TOSHIYUKI;TATEISHI MANABU
分类号 H01L21/027;H01L21/30 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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