发明名称 WERKWIJZE VOOR HET VERVAARDIGEN VAN EEN MOS-INRICHTING MET ZELF-UITGERICHTE CONTACTEN.
摘要
申请公布号 NL7908534(A) 申请公布日期 1980.07.10
申请号 NL19790008534 申请日期 1979.11.23
申请人 AMERICAN MICROSYSTEMS, INC. TE SANTA CLARA, CALIFORNIEE, VER. ST. V. AM. 发明人
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/336;H01L21/762;H01L23/52;H01L27/112;H01L29/78;(IPC1-7):01L21/72;01L29/78;01L27/08 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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