发明名称 PRODUCTION OF MICRO STRUCTURE ELEMENT ARRAY
摘要
申请公布号 JPS5590931(A) 申请公布日期 1980.07.10
申请号 JP19780165092 申请日期 1978.12.29
申请人 CANON KK 发明人 SUZUKI TAKASHI
分类号 G03B21/60;G02B3/00;G02B5/02;G02B27/00;G03B13/24;G03F5/00 主分类号 G03B21/60
代理机构 代理人
主权项
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