Electron beam investigation process and electron impact spectrometer therefor.

摘要

Die Strahlführung eines kathodisch emittierten und elektronenoptisch gebündelten Elektronenstrahls, der einer Energieselektion in einem Zylinderkondensator (1) unterworfen wird und abschließend auf einen Detektor (12) auftrifft, wird dadurch verbessert, daß die Elektronen in der Ebene senkrecht zur Zylinderkondensatorachse zwar in bekannter Weise auf die Eingangsblende (3) des Kondensators (1), senkrecht dazu jedoch auf den Detektor (12) fokussiert werden, was durch eine entsprechende Gestaltung der Emissions- und Bündelungssysteme (5 bis 10) erreicht wird.Bei Anwendung dieser Art der Strahlführung in Elektronenstoßspektrometern mit Zylinderkondensator-Ablenkeinheiten (1,2) resultiert eine hohe Energieauflösung bei hohem Signalstrom, welche die hinsichtlich der Fertigung und Handhabung besonders günstigen Spektrometer mit Zylinderkondensator-Ablenkung gegenüber den bislang bevorzugten Geräten mit Kugelkondensator- oder Zylinderspiegel ablenkung wesentlich aufwertet. Eine besonders interessante Realisierungsmöglichkeit besteht in einer angemessen konzipierten Repeller-Fokussierungsfläche (7') mit unterschiedlichen Krümmungsradien (r1,r2) zusammen mit darauf abgestimmtem Linsensystem (8 bis 1o). Eine Graphitbeschichtung der Strahlführungselemente bringt zusätzliche Vorteile.