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发明名称 ELECTRIC HEATER ASSEMBLY FOR DIFFUSION PUMPS.
摘要
申请公布号 EP0015976(A4) 申请公布日期 1980.07.08
申请号 EP19790900465 申请日期 1979.11.19
申请人 VARIAN ASSOCIATES, INC. 发明人 LANDFORS, ARTHUR ARVID
分类号 F04F9/00;H05B3/06;H05B3/82;(IPC1-7):F04F9/00;F28F1/32;H05B3/30;H05B3/68 主分类号 F04F9/00
代理机构 代理人
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