发明名称 |
INSPECTION SYSTEM OF CONTINUITY OF OPTICAL PATTERN |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS5589706(A) |
申请公布日期 |
1980.07.07 |
申请号 |
JP19780162840 |
申请日期 |
1978.12.28 |
申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
MORI TADATAMI;NAKAMURA MASAAKI;TOUFUKU ISAO |
分类号 |
G01N21/88;G01B11/24;G01B11/30;G01N21/956 |
主分类号 |
G01N21/88 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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