发明名称 SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPS5587456(A) 申请公布日期 1980.07.02
申请号 JP19780161723 申请日期 1978.12.25
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 SEKI YASUO
分类号 H01L21/205;H01L29/167 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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